AMO：高性能紫外線納米壓印抗蝕劑

UV納米壓印是一種機(jī)械成型技術(shù)。由石英或具有 3D 浮雕的柔性彈性體制成的模板與基板頂部旋涂的 UV 固化抗蝕劑緊密接觸。由于壓印抗蝕劑的低粘度，在室溫下施加低壓印壓力會(huì)在幾秒鐘內(nèi)填充特征?？刮g劑通過模板背面的紫外光硬化。最后，分離基板和模板。復(fù)制的抗蝕劑浮雕可以進(jìn)一步通過RIE工藝轉(zhuǎn)移到基板中或用作功能元件。

基于在納米壓印領(lǐng)域的廣泛長期經(jīng)驗(yàn)，AMO 開發(fā)了一種可商用的 UV 固化抗蝕劑 (AMONIL®) 和匹配的粘合促進(jìn)劑 (AMOPRIME)。

AMO 的 NANOIMPRINT RESIST AMONIL®：

AMO GmbH 在一系列項(xiàng)目中從事 UV-Nanoimprint 光刻技術(shù)的研究和開發(fā)超過 15 年?；谶@些豐富的經(jīng)驗(yàn)，我們能夠設(shè)計(jì) AMO并定期對其進(jìn)行改進(jìn)。該抗蝕劑將出色的涂層和壓印性能與出色的圖案保真度和合理的等離子體穩(wěn)定性相結(jié)合。

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